受講形式ライブ配信オンデマンド配信
スパッタリング法の総合知識と
薄膜の特性制御・改善、品質トラブルへの対策
物理現象の理解から、分析・評価、特性安定化、密着性・信頼性の改善まで。技術者が知っておくべき総合的な知識と実践的なトラブル対応。
・スパッタリングの原理・特徴、成膜装置、成膜工程の運用・管理方法といった基礎
・粒子の挙動、膜の成長過程、真空・プラズマ、排気・ガス制御、放電制御などの物理現象
・膜厚・表面粗さ・各種特性・密着性・信頼性に関する薄膜の評価・分析技術
・プロセスパラメータと特性・物性との関係、特性ばらつきの原因と対策、密着性不良・剥離の要因と改善
・薄膜の欠陥モード、異物の検査・モニタリング・対策、外観不良の原因と対策
など、スパッタリング法を扱うために必要な総合的な知識と実践的な技術・ポイントについて事例を交えて解説します。
・粒子の挙動、膜の成長過程、真空・プラズマ、排気・ガス制御、放電制御などの物理現象
・膜厚・表面粗さ・各種特性・密着性・信頼性に関する薄膜の評価・分析技術
・プロセスパラメータと特性・物性との関係、特性ばらつきの原因と対策、密着性不良・剥離の要因と改善
・薄膜の欠陥モード、異物の検査・モニタリング・対策、外観不良の原因と対策
など、スパッタリング法を扱うために必要な総合的な知識と実践的な技術・ポイントについて事例を交えて解説します。
| 日時 | 【オンデマンド配信】 2026年8月28日（金） 23:59まで申込み受付中 | |
|---|---|---|
| 受講料(税込) | 55,000円 定価：本体50,000円＋税5,000円 【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン（１名あたり定価半額の55,000円）】 ※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。 2名様以降の受講者は、申込み前に会員登録をお済ませください。 ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。 ※3名様以上のお申込みの場合、上記１名あたりの金額で受講できます。 ※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。 ※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。 (申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。) ※他の割引は併用できません。 ※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 1名申込みの場合：受講料 定価：44,000円 定価：本体40,000円＋税4,000円 ※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。 | |
| 会場 | 【オンデマンド配信】 オンライン配信 | |
大学院で金属材料を修了後、大手印刷会社にて電子デバイス・半導体・高機能フィルム技術に携わる。スパッタリング、蒸着、めっき、エッチング、フォト／電子線リソグラフィ、精密研磨、コンバーティングなど表面に関する広範の技術を経験。スパッタリングはバッチ式からインライン、小型から大型まで対応。材料開発、製品設計、工程設計、設備導入、品質管理、工場立上げなどの幅広い業務経験を生かし、技術に関する複合的な問題の解決を得意とする。
【講師詳細は
こちら
】
スパッタリング法の基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。スパッタリング薄膜の開発、生産技術に携わる実務者はもちろん、外部委託により薄膜を活用する技術者にとっても、重要な知識を得ることができます。
