ALDの1サイクル（原料供給・パージ・反応ガス供給・パージ）の意味を押さえ、飽和の確かめ方、1サイクルあたりの成長量の測り方、供給時間とパージ時間の決め方を順に練習します。条件が合わないときの切り分けと、記録の残し方まで持ち帰れる講座です。
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キャンセル規定: 動画を再生しておらず、資料もダウンロードしていない場合に限りキャンセルできます（詳細は下のタブ）
ALDの1サイクル（原料供給・パージ・反応ガス供給・パージ）の意味を押さえ、飽和の確かめ方、1サイクルあたりの成長量の測り方、供給時間とパージ時間の決め方を順に練習します。条件が合わないときの切り分けと、記録の残し方まで持ち帰れる講座です。
【対象】成膜・薄膜プロセスに配属されたばかりの方、ALDをこれから使う方
【収録時間】約60分（予定・スライド約65枚・日本語字幕つき）
【内容】
・第1章 ALDが向く場面と他の成膜との違い
・第2章 1サイクル4段階と膜が育つ仕組み
・第3章 成長量と飽和を測って確かめる
・第4章 供給時間・パージ時間の決め方の例
・第5章 温度の範囲と原料・反応ガスの目安
・第6章 段差や穴への付き回りの確認手順
・第7章 つまずきやすい点と原因の切り分け
・第8章 明日からの試作計画と記録の残し方
※ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます。
※ 本動画の音声は、AIによる合成音声です。
| 視聴形態 | １．VOD １日間レンタル, ２．VOD ５日間レンタル, ３．VOD ３０日間レンタル |
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