次世代ＥＵＶリソグラフィー／レジストリソグラフィー技術
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【1日目：9/18】先端／次世代ＥＵＶリソグラフィー技術の基礎、最新技術動向【2日目：9/30】レジストリソグラフィー技術の基礎と実務およびトラブル対策
| 日時 | 【ライブ配信】 2026年9月18日（金） 10:30～16:30
【アーカイブ配信】 2026年10月21日 まで受付 |
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| 受講料(税込) | 82,500円
定価：本体75,000円＋税7,500円
【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン（１名あたり定価半額の82,500円）】
※2名様とも会員登録をしていただいた場合に限ります。
2名様以降の受講者は、申込み前に会員登録をお済ませください。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、上記１名あたりの金額で受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料 定価：66,000円
定価：本体59,999円＋税6,001円
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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Low NA EUVL, High NA EUVL, Hyper NA EUV, 短波長EUVLの特徴、並びにこれに係わる各基盤技術要素全般
（光源、光学系（多層膜を含む）、マスク、レジスト、ペリクルなど）
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
次世代EUVL研究寄附講座 特任教授・名誉教授 渡邊 健夫 氏
国立大学法人 長岡技術科学大学 名誉教授
アドヒージョン株式会社 代表取締役社長 博士（工学） 河合 晃 氏
極端紫外線リソグラフィー技術について、Low NA EUVL, High NA EUVL, Hyper NA EUV, 短波長EUVLについてリソグラフィーの特徴と、EUV光源技術、多層膜技術、光学系技術、マスク技術、レジスト技術等基盤 技術全般に亘り解説します。
レジストリソグラフィは微細加工を支える主要技術の一つであり、半導体、ディスプレイ、プリント基板、太陽電池、MEMS など、さまざまな電子産業分野で広く実用化されています。一方で、レジスト材料およびプロセス技術の高度化に伴い、これらの特性が製品に与える影響も一層大きくなっています。
本セミナーでは、フォトレジスト材料の特性、プロセス最適化の方法、付着・濡れ・欠陥といった各種トラブルへの対応策に焦点を当て、評価・解決のアプローチを丁寧に解説します。さらに、レジスト形状・寸法制御、処理条件の設定方法、研究開発やトラブル対応など、実務での具体的な進め方についても、豊富な実例を交えて紹介します。
本セミナーは、レジスト材料の開発者、レジスト処理装置の技術者、レジストユーザー、これからレジスト技術に携わる方、そしてリソグラフィ工程でトラブルを抱えている方々を対象とします。受講者の皆さまが日々直面しているトラブルやノウハウに関するご相談にも、個別に対応いたします。
| 配布資料 | Live配信受講：PDFテキスト(印刷可・編集不可)
アーカイブ配信：PDFテキスト（印刷可・編集不可）
※セミナー資料は、電子媒体(PDFデータ／印刷可)をマイページよりダウンロードいただきます。
(開催前日を目安に、ダウンロード可となります)
※アーカイブ配信受講の場合は、配信日にマイページよりダウンロード可。
※ダウンロードには、会員登録（無料）が必要となります。 |
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| オンライン配信 | 【Live配信の視聴方法】
【ライブ配信（Zoom使用）セミナー】
ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
・ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）
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【テキスト】
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| 備考 | 資料 付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
本セミナーはサイエンス＆テクノロジー株式会社が主催いたします。 |
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キャンセル規定（サイエンス＆テクノロジー社の規定に準じます）
| 会場受講・ライブ配信・アーカイブ配信 | 開催日から営業日で逆算し
・7 営業日前まで：キャンセル料なし
・6〜3 営業日前：受講料の 70%
・2 営業日前〜当日・欠席：受講料の 100% |
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| オンデマンド配信 | お申込み後 8 日以内（土日祝含む）で、視聴・テキストのダウンロードの形跡がない場合はキャンセルできます。 |
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- 代理の方のご受講が可能です（受講者変更のご依頼を承ります）。
- ご入金後にご返金が発生する場合、振込手数料はお客様のご負担となります。
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