説明
成膜装置を「見えない箱」にせず扱えるようになることを目指します。真空と気体のふるまい、排気と圧力の読み方という共通の土台から、蒸着・スパッタ・CVDの選び分け、膜が育つ条件と密着を決める下地・処理層、評価データの読み方を学び、膜厚むら・変色・剥がれ・異物などの不具合を手順どおりに切り分け、条件を記録して再現できる型をつくるところまで身につけます。
【対象】薄膜・表面処理・成膜装置の現場に配属された方、これから学ぶ技術者
【収録時間】約60分(予定・スライド約65枚・日本語字幕つき)
【内容】
・薄膜の不具合が生む損失
・気体のふるまいで真空をつかむ・排気と圧力の読み方
・蒸着・スパッタ・CVDの選び分け
・膜が育つ条件と密着を決める下地・処理層
・評価データの読み方と落とし穴
・異物・汚れ・漏れ・剥がれの原因を切り分ける順序
・やりがちな操作ミスと安全の勘所
・条件記録と再現の型・明日からの点検
※ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます。
※ 本動画の音声は、AIによる合成音声です。







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