スパッタ法や真空蒸着法でつくった膜が剥がれたとき、どこを見て、何を測り、どの条件から直すかを順にたどれるようにします。密着を支える力や膜応力の考え方を押さえたうえで、観察・測定・切り分けの手順を記号例で示し、一般に効きやすい前処理や下地の選び方を、効く条件を短く添えて整理します。
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キャンセル規定: 動画を再生しておらず、資料もダウンロードしていない場合に限りキャンセルできます（詳細は下のタブ）
スパッタ法や真空蒸着法でつくった膜が剥がれたとき、どこを見て、何を測り、どの条件から直すかを順にたどれるようにします。密着を支える力や膜応力の考え方を押さえたうえで、観察・測定・切り分けの手順を記号例で示し、一般に効きやすい前処理や下地の選び方を、効く条件を短く添えて整理します。
【対象】薄膜の成膜・評価に配属されたばかりの方、剥離対応を任された初学者
【収録時間】約60分（予定・スライド約65枚・日本語字幕つき）
【内容】
・第1章 なぜ膜が剥がれると困るのか
・第2章 密着を支える力と界面の見方
・第3章 蒸着とスパッタで膜に残る違い
・第4章 剥離の跡を観察し状態を記録する
・第5章 付着力と応力を測り条件を比べる
・第6章 原因を切り分ける手順をたどる
・第7章 前処理・下地・成膜条件の選び直し
・第8章 明日からの点検表と記録の残し方
※ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます。
※ 本動画の音声は、AIによる合成音声です。
| 視聴形態 | １．VOD １日間レンタル, ２．VOD ５日間レンタル, ３．VOD ３０日間レンタル |
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